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1.分辨率: 15nm (30kV, SE Image)
20nm (30kV, BSE Image)
2.放大倍率:20x~60,000x (有效放大倍率30,000x)
3.加速电压 :
1kV to 30kV (1/5/10/15/20/30Kv-6 step)
4观察图像:
二次电子图像
背散射电子图像(COMPO,TOPO)
二次电子和背散射电子双重像
二次电子和背散射电子合成像
5.观察模式: 标准观察模式及BSE+低真空观察模式
6.电子枪系统:
灯丝类型:预对中钨灯丝,带韦氏帽
偏压系统:自动偏压方式
电子枪手动校正
7.透镜构成
i. 聚光镜 : 2段式磁线圈透镜
ii. 物镜 : 1段式磁线圈透镜
8.探测器类型
E-T Detector (SE) / Solid state (4channel-BSE)
9.载物台系统:3轴操控
载物台移动范围:X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°
10.图像光斑调整最大进程: X, Y Image Shift 150?(±75)
11.样品最大尺寸 :
70mm*70mm* 30mm
图像扫描速度
1. 快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
2. 低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)
3. 图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)
4. 图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
5. 图片模式3(Photo Mode 3): 5120x1920 (Scan time: 120sec.)
1. 自动功能
自动启动,自动聚焦,自动亮度对比度调节
2. 图像存储方式
BMP, JPEG, PNG
3. 数据显示
放大倍率,探测器类型,电压,真空模式,文本,标尺等
4. *真空系统
全自动型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)
-(旋转式机械泵)Rotary Pump/100Liters/min
-(涡轮式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec
抽真空
5. 操控系统:鼠标和快捷键双重支持
6. 运行系统:电镜专用台式电脑
-OS : Microsoft Window 7
-CPU : Intel CoreTM i5 or High version
-Memory / HDD : 4GB / 1TB
7. 软件:
-图像文件打开,编辑,存储功能
-长度,面积,角度等测量功能
-设置数值初始化,图像拍摄模式转换,Archives, Setting(EDS)模式等
8. 体积:
设备主机-390(W)×640(D)×560(H)mm……1set
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set
9. 重量:90kg
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 2 人次培训
免费仪器保养: 3个月一次
保内维修承诺: 免费维修
报修承诺: 24小时到现场
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