四探针测试仪

测量范围
电阻率：10-4～105 Ω.cm；
方块电阻：10-3～106 Ω/□；
电导率：10-5～104 s/cm；
电阻：10-4～105 Ω；
可测晶片直径
140mmX150mm(配S-2A 型测试台)；
200mmX200mm(配S-2B 型测试台)；
恒流源
电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六档，各档电流连续可
调
数字电压表
量程及表示形式：000.00～199.99 mV；
分辨力：10μV；
输入阻抗：＞1000 MΩ；
精度：±0.1% ；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
四探针探头基本指标
间距：1±0.01mm；
针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
机械游移率：≤0.3％；
探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
探针压力：5～16 牛顿(总力)；
计算机通讯接口 并口

测量范围
电阻率：10-4～105 Ω.cm；
方块电阻：10-3～106 Ω/□；
电导率：10-5～104 s/cm；
电阻：10-4～105 Ω；
可测晶片直径
140mmX150mm(配S-2A 型测试台)；
200mmX200mm(配S-2B 型测试台)；
恒流源
电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六档，各档电流连续可
调
数字电压表
量程及表示形式：000.00～199.99 mV；
分辨力：10μV；
输入阻抗：＞1000 MΩ；
精度：±0.1% ；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
四探针探头基本指标
间距：1±0.01mm；
针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
机械游移率：≤0.3％；
探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
探针压力：5～16 牛顿(总力)；
计算机通讯接口 并口

测量范围
电阻率：10-4～105 Ω.cm；
方块电阻：10-3～106 Ω/□；
电导率：10-5～104 s/cm；
电阻：10-4～105 Ω；
可测晶片直径
140mmX150mm(配S-2A 型测试台)；
200mmX200mm(配S-2B 型测试台)；
恒流源
电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六档，各档电流连续可
调
数字电压表
量程及表示形式：000.00～199.99 mV；
分辨力：10μV；
输入阻抗：＞1000 MΩ；
精度：±0.1% ；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
四探针探头基本指标
间距：1±0.01mm；
针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
机械游移率：≤0.3％；
探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
探针压力：5～16 牛顿(总力)；
计算机通讯接口 并口