仪器简介:
最适合于检测半导体特气的微量泄漏。
采用声光报警。
作为众多知名品牌的合作伙伴,EHSY LAB以其优良的品质
和服务来保证阁下员工的职业健康,安全环境和美好未来。
技术参数:
检测对象气体:半导体材料气体
(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等);
检测原理:热线型半导体式;
采样方式:自动吸引式;
可检测浓度(单位:ppm):
砷烷AsH3:0.2;
磷烷PH3:0.3;
乙硼烷B2H6:0.1;
硅烷SiH4:0.5;
氢气H2:1.0;
检测表示:蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁;
应答速度:10秒以内;
品牌:日本COSMOS
主要特点:
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