5. 紧凑的主机上包含减震台、隔音罩、光学显微镜等附件，安装紧凑，体积小巧。
6. 优越的扩展功能通过激光检测方式，能够扩展各种各样的选配功能。另外，只要插拔一根电缆就能够切换成激光检测方式。
检测方式 | 激光检测方式/自检测方式 |
|---|---|
样品尺寸 | 最大35 mmφ、厚度10 mm（专用配件厚度扩展至20 mm） |
扫描范围 |
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定位显微镜 |
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减震方式 |
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操作画面 | 搭载流程图的操作导航系统 |
检测功能 |
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扩展功能 | AFM、STM、SIS、FFM、LM-FFM、VE-AFM/DFM、Adhision、CURRENT、KFM、PRM、SNDM、SSRM、EFM、MFM |
