仪表式动态配气仪
用途：
仪表式动态配气混合系统装置主要用于对气体的均匀混合，达到实验及生产所需目的，该装置可控制不同气体的流量，配置不同浓度的气体，模拟实际情况下的气氛环境，每种气体流量可自由调节，50:1的宽量程比范围
产品概述;
仪表系列混合配比仪用于对多路气体进行均匀混合配比，控制各组分气体之间的比例关系， 然后实时在线输出到终端设备中.
仪器具有高效，精却，稳定，调节范围广，响应速度快，自动化程度高，可扩展性，操作简便等特点.
应用领域
半导体行业 特种材料冶炼 医学行业 环保行业 食品保鲜行业 微电子工艺设备 精密浓度传感器工艺 化学化工等等…
基本参数
先进的结构，细节的优化。保证仪器稳定，可靠
功能 | 配气仪 | |
基本型号 | 仪表系列 | |
配比范围 | 1PPM以上（定制） | |
精度（%） | ±1% | |
控制阀动作形式 | 长闭式 | |
线性（%F.S） | ±0.5 | |
重复精度（%F.S） | ±0.2 | |
响应时间（sec） | ≤1 | |
设备输出信号 | RS232或RS485 | |
电器接头 | DB15pin DB14pin DB9pin 接头 | |
工作环境 | 5-55(℃) | |
工作压差 | 0.05-0.5MPA | |
漏率 | 1X10-7SCCMHe | |
zui大耐压 | 3MPA 10MPA | |
介质接触材质 | 304 316 316L | |
密封材料 | 氟橡胶，硅橡胶，丁晴橡胶，聚四氟乙烯，金属密封性 | |
接头尺寸 | Swagelok 1/8 , 1/4 ,3/8,或φ3，φ6，φ8 φ10 φ12 | |
电源要求 | 220V, 2A | |
注：设备为定制产品，更多具体要求及参数请咨询工程师 | ||
