奥林巴斯 半导体晶圆搬送及检测显微镜 AL120

对应多种尺寸组合

我们推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（对应小于150 mm的晶圆）的3种工具显微镜型号。除此以外，您还可以根据检查模式，选用微观检查专用型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。            

晶圆尺寸•厚度对应表

薄片检查

对应薄片制造厂家的需求，AL120-LMB-90工具显微镜搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆。

高度实用性

 进一步优化的宏观检查

背面宏观360゜旋转

• 宏观检查手臂可以360゜旋转，更为容易发现伤痕和微尘。

• 利用360゜旋转功能，完全可以目视检查整个晶圆（包括边缘）。此外，在表面宏观检查中，使用操纵杆可随意将晶圆最大倾斜30゜进行观察。

操作便捷

• 为了满足各种常规检查的要求，AL120工具显微镜可以登记多达10个检查程序。使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度。快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序。

• 晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示。 使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT，便于操作者再次确认。

• AL120工具显微镜使用非接触光学定位、查找和对齐缺口／平面，可以减少晶圆和设备之间的接触，提高晶圆的清洁度。

高度可靠性

优先考虑晶圆和操作者的安全

• 为了能够安全的安装晶圆，采用了在装置正面放置片盒的设计。

• 在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测，同时，在环境保护方面遵守了RoHS指令。

坚固、耐用的显微镜底座

AL120工具显微镜搭载奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列，通过各种观测方法，包括：明视场、暗视场、微分干涉（DIC）、近IR（近红外线）和DUV（深紫外线），实现了卓越的图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定，可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制，AL120工具显微镜还可以应用到其他型号的显微镜上。

人机工程学设计的载物台

• 手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率，标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。

• 可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台，进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。