P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm

P66.X60压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构的压电位移平台，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度，并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适于定位应用，如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等。

特性：

      • 位移60μm                   • 承载能力6kg                  • 亚毫秒响应时间                  • 开闭环可选

应用：

      • 干涉/扫描                   • 计量                 • 质量保证测试                  • 微加工/精密控制                  • 半导体技术

P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本，闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（SGS），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。

   传感器使用全桥配置已消除热漂移，使得该系列纳米定位台可以实现较高的线性度与重复度。