安捷伦涡轮分子泵 Turbo-V 551

Agilent Varian Turbo-V 551 Navigator涡轮分子式高真空泵具有ISO-160入口法兰，极限压力为1x10-8 Torr，Agilent Varian零件号为9698922.Turbo-V 551 Navigator涡轮分子泵具有ZD性能以zui低的成本和尺寸，抽速为550 l / s的氮气（N2）。我们建议主泵尺寸小至8 CFM（例如，Agilent Varian TriScroll 300和IDP-15干式涡旋真空泵或DS302旋片式真空泵），可用于在所有泵送型材中操作Turbo V 551。Turbo-V 551是复合泵，包括MacroTorr阻力级技术，可实现轻质气体的高压缩比，并最大限度地提高泵的产量。

安捷伦Varian Turbo-V 551 Navigator涡轮分子高真空泵集成到许多分析仪器应用中，包括电子显微镜（SEM，TEM），聚焦离子束系统（FIB）和表面分析现代聚焦光束系统，如SEM，TEM和FIB利用将电子或离子投射到显微样品上的色谱柱进行详细分析。zui终用户分析从有机化合物到半导体晶片的所有类型的物质。特别是在半导体行业，它们需要更高的灵敏度以获得更好的样品分辨率。另一个关键要求是高样品通量，以降低这些仪器的拥有成本。