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MPI TS150、TS200、TS300每一款都包含许多令人兴奋的功能, 使日常操作更简单、直观、方便, 同时确保了超高准确度测量.

 Air Bearing Stage气浮式样品台

  MPI 独特的空气轴承阶段设计，简单的单手控制，可以快速地在xy 方向移动。可以进行快速晶圆或者样品加载，提供了无与伦比的操作体验, 且不损害超高准确的定位能力。 并仍然具有准度到 25 * 25 毫米范围XY 方向上的微米级别移动。

   Unique Platen Lift with Probe Hover Control  具有探头悬停控制的独特控制技术

   测量精度首先取决于接触质量。高度可准确重复的 (1 um精度) 针座台设计与三个独立的档位划分：接触（0μm）、分离 (300 um) 和载片 (3 um) 与安全锁设计是目前市面上绝无仅有的功能。这些功能防止意外损坏探针或晶圆, 同时提供直观的控制和准确的接触定位,这种能力在高频和大功率应用中尤其重要, 以达到最准确的测量结果。

   对于 TS200 和 TS300,还可以额外提供带有悬停高度 (50,100 或 150 um)的装置, 可轻松方便地使探针与待测样品电极对齐。

Compact and Rigid Platen Design 紧凑、灵活的针座台

紧凑、灵活的针座台可容纳多达10组直流或4组射频针座，可满足各种应用要求。

  Various Chuck Potions  丰富的样品台规格选择

  手动系统可用各种卡盘选项来满足不同的预算和应用要求. 卡盘选项包括 MPI 的同轴或三轴样品台或各种ERS高低温卡盘, 以支持高达300度的温度测量。并包含无缝集成的加热台控制器, 方便快捷的阅览和操作。

  Auxiliary Chucks 辅助卡盘

 射频卡盘还包括两个内置的陶瓷材料做成的辅助卡盘, 用于精确的射频校准。

 Various Optic and movement Choices 多样的显微镜选择

 提供多种光学显微镜的选择，包括所有常见的体式显微镜、单筒金相显微镜、金相显微镜或负载牵引配置。

 Vibration Isolation Platform  内置隔振平台

 所有的手动系统包括吸振基座, 以实现稳定可靠的探针与样品的长时间接触, 确保可靠的测量结果. 隔振平台或工作台可选配不同的型号，以满足实验室环境需要。

周边附件：CCD、防震平台、屏蔽罩、Laser mark、探针卡、BNC转接头、RF探针、有源探针、

高压探针、真空泵