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SGC-10薄膜测厚仪，适用于介质，半导体，薄
膜滤光片和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。该薄
膜测厚仪，是我公司与美国new-span公司合作研
制的，采用new-Span公司先进的薄膜测厚技术，
基于白光干涉的原理来测定薄膜的厚度和光学常数
(折射率n，消光系数k)。通过分析薄膜表面的反射
光和薄膜与基底界面的反射光相干形成的反射谱，
用软件来拟合运算，得到单层或多层膜系各层的厚
度d，折射率n，消光系数k。该设备关键部件均为
国外进口，也可根据客户需要整机进口。
编号 | 名称 | 规格 |
1 | 厚度范围 | 20nm-50um（只测膜厚），100nm-10um（同时测量膜厚和光学常数n，k） 根据薄膜材料的种类，其范围有所不同。 |
2 | 准确度 | <1nm或<0.5% |
3 | 重复性 | 0.1nm |
4 | 波长范围 | 380nm-1000nm |
5 | 可测层数 | 1-4层 |
6 | 样品尺寸 | 样品镀膜区直径>1.2mm |
7 | 测量速度 | 5s-60s |
8 | 光斑直径 | 1.2mm-10mm可调 |
9 | 样品台 | 290mm×160mm |
10 | 光源 | 长寿命溴钨灯（2000h） |
11 | 光纤 | 纯石英宽光谱光纤 |
12 | 探测器 | 进口光纤光谱仪 |
13 | 电源 | AC100V-240V，50HZ-60HZ |
14 | 重量 | 18Kg |
15 | 尺寸 | 300mm×300mm×350mm |
强大的软件功能：
界面友好，操作简单，用户点击几下鼠标就可以完成测量。便捷快速的保存、读取测量得到的反射谱数据，数据处理功能强大，可同时测量多达四层的薄膜反射率数据。一次测量即可得到四层薄膜分别的厚度和光学常数等数据，材料库包含了大量常规的材料光学常数数据。用户可以非常方便地自行扩充材料数据库。
产品功能适用性：
该仪器适用于多种介质，半导体，薄膜滤光片和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。
典型的薄膜材料为：
SiO2、CaF2、MgF、光刻胶、多晶硅、非晶硅、SiNX、TiO2、聚酰亚胺、高分子膜。
典型的基地材料为：
SiGe、GaAs、ZnS、ZnSe、铝丙烯酸、蓝宝石、玻璃、聚碳酸酯、聚合物、石英。
仪器具有开放性设计，仪器的光纤探头可很方便地取出，通过仪器附带的光纤适配器（如图所示）连接到带C-mount适用于微区（>10μm，与显微镜放大率有关）薄膜厚度的显微镜（显微镜需另配），就可以使本测量仪测量。
