4″高真空RTP炉OTF-1200X-4-RTP-HV

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带6mm双卡套接头）

4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、石英样品架固定在滑动法兰上，使样品装载更加容易。

2、样品架上放置76mm的AlN基片，承载需要退火的样品。AIN具有很高的热导率，可使样品放置的区域有很好的温度均匀性（±5℃）。

3、内插式热偶保证了温度的准确性。

4、采用PID自动温度控制，30段程序，并设有过热和断偶保护功能。

5、已通过CE认证。

技术参数

1、电源：炉体单相208V-240V，50Hz/60Hz，10KW

　　　　　高真空系统AC110V/220V任意切换，50Hz/60Hz，110W

2、炉体结构：双层莫来石钢构

3、石英管：外径?110mm，内径?103mm，长380mm

4、样品架：76mm

5、加热元件：8根红外灯管，灯丝长200mm，丝圈?10mm，灯长300mm

6、加热区：102mm×305mm，均匀性±5℃

7、热偶：K型热偶

8、温度：最高温度1100℃，额定温度1000℃，在1000℃-1100℃下保温时间不得超过600s

9、控温精度：±0.5℃

10、最快升温速度：RT-800℃内50℃/s，800℃-1000℃内10℃/s

11、高真空系统气动时间：2min

12、真空度：6.3×10^-5mbar（在40min中）

13、真空法兰：KF-D25，配有两个高温O型圈密封

14、流量计：16ml/min-160ml/min

15、前级泵流速：在10mbar状态下3.8L/min，50Hz；4.4L/min，60Hz

产品规格

炉体：尺寸760mm×330mm×530mm，重量50kg

高真空系统：尺寸：600mm×600mm×700mm，重量18kg