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沈阳科晶
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RF-300I-LD
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中国大陆
产品简介：300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD将自动匹配器和13.56MHz的射频电源集成在一起，可以自动匹配容抗和感抗，使得安装和操作更加方便容易。配用本司的磁控溅射头可自行搭建磁控溅射镀膜仪。
产品型号 | 300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD |
技术参数 | 1、电源：AC 110V-240V 50Hz/60Hz 2、输入功率：5W-300W（可调），稳定性±1% 3、射频频率：13.56MHz，稳定性±0.005% 4、匹配：自动匹配，空气电容 5、冷却：空气冷却 6、噪音：<50dB |
产品规格 | 尺寸：480mm×400mm×140mm
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可选配件 | 1、2"高真空磁控溅射头，可自行搭建RF或DC溅射镀膜仪。 2、同时购买300W射频发射器和2"磁控溅射头时，本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75"，可将溅射 头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1"，真空腔体的壁厚不得大于1"。 3、循环水冷机，流量为16L/min，水箱容积为6L。 |
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