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纳米精度，大行程电控升降台！
所属类别：光机产品/精密定位控制系统 ? 电动平移台
高精度电动升降台
电控位移台也称为电控平移台是一种依靠步进电机驱动的执行装置，通过丝杠将步进电机的角位移转换为平台位移。通常情况下该系统由三部分组成：位移台、电机和控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、分辨率、加减速度、信号处理等性能参数。位移台则是系统的心脏，主要指标参数有位移精度、行程、负载、稳定性、适用环境等。
上海昊量光电设备有限公司推出的高精度大行程电动平移台，利用42mm的五相步进电机驱动，可实现低振动高度的运动。传动螺杆采用滚珠丝杠实现高速平稳运动，极高的螺杆品质使平移台拥有极佳的分辨率、定位精度。采用超高等级LM滑轨，在确保了升降台，具有超高的运动性能。该系统采用光栅尺闭环控制，在确保大行程的同时，分辨率达到了50nm。目前可提供给从200-400mm不同行程的平移台，速度最高可达到20mm/s，载重量高达30kg。
主要特点
l 高分辨率
l 高重复定位精度
l 采用滚珠丝杠，实现高精度定位
l 采用高等级交叉滚珠导轨，具有超高运动性能
u 主要应用
超精密激光加工、超精密三维扫描测量、全自动计量仪器检测设备、工业自动化等领域。
主要参数：
型号 | 行程（mm） | 最大负载(N) | 分辨率(nm) | 重复定位精度(nm) | 最大移动速度(mm/s) | ||||
FC-414 | FC-111 | FC-114 | FC-414 | FC-111 | FC-114 | 20 | |||
FS-3300X | 300 | 294 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | |||
FS-3400X | 400 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | ||||
FS-2200X | 200 | 500 | ±1000 | ||||||
FS-2300X | 300 | 500 | ±1000 | ||||||
FS-2400X | 400 | 500 | ±1000 | ||||||
