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简介
AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiOx/SiO2、Tio2等材料的涂层,涂层均匀性好且高效快速。
规格参数
基本参数 | 镀膜材料:SiO2/SiOx 镀膜厚度:50-1000nm 均匀性:+/-2% 处理温度:RT-200℃,取决于处理速度 处理速度:0-20m/min,根据实际应用调整 |
枪头 | 2个 |
电缆线 | 3m、5m、7m可选 |
发生器 | 尺寸:520mm×460mm×210mm,重量:20Kg |
控制系统 | PLC可实现下列功能: 简单便捷的操作界面; 根据处理材料设定不同的处理工艺参数,并且形成工艺菜单; 设置进气停气,加电停电,输入电压等指标; 监测所有的运行指标,保证各项参数在设定范围之内; 设定操作进入密码。 |
电源供应 | 220-230V AC, 50/60Hz, 10A |
工艺气体 | 压缩空气、氮气、其他混合气体,消耗量:100L/min |
气体输入 | 一个气体输入端口,含气体流量控制器(MFC),输入压力:3Bar |
尾气排放 | 100m3/min |
安全性能 | 急停开关;接地保护;CE安全认证 |
选件 | 定制OEM |
主要应用 | 1,表面活化改性后进行等离子镀膜,膜粘接能力强; 2,支持其他镀膜研究; 3,缺陷修补等其他应用。 |
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