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| 表面粗度 | |
|---|---|
| 测定范围 | Z:600μm X:100mm |
| 触针/测定力 | R2μm 0.7mN |
| 直线度精度 | 0.2μm/100mm |
| 轮廓形状 | |
| 解析项目 | 要素/方位向量/非球面/滚珠螺杆/MASTER比较 |
| 测定范围 | Z:50mm X:100mm |
| 触针/测定力 | R25μm 30mN以下 |
| 直线度精度 | 1.0μm/100mm |
