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1.用于完成金属特别是难熔金属及一些氧化物材料的镀膜,可镀制光学薄膜、金属薄膜、半导体薄膜及其他一些高温下不分解材料的薄膜;有电阻蒸发源镀制一些金属等材料2. 工件架有加热烘烤功能,配有离子源,完成基片在线清洗和镀膜中的辅助沉积3. e型电子枪和多对水冷式电阻蒸发源,电子枪功率可选,多组阻蒸发源交替蒸发4. 采用PLC和触摸屏集中控制系统,工艺灵活设置,有互锁保护和报警功能
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