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? 阻尼结构工作台板,可消除表面共振
? 台板可选
? 完全密封孔
? 自动调平
? 利用单摆原理得到更低的水平方向固有频率
蜂窝结构隔振平台台板或超导磁隔振平台台板,台板强度高,稳定可靠;隔振器采用摆杆的结构创新设计,该结构的水平固有频率相对于常规气浮平台较低,该支撑在水平方向有很好的隔振效果和承载能力。该项结构创新已申报了国家专利。关键气动执行元件均采用德国FEST0产品,静音空气压缩机气源、噪声低。
应用领域:
显微镜、医疗生物
光路测试、光学测量
激光扫描、激光干涉
光谱实验、精密检测
集成电子
对振动要求非常高的仪器设备
性能指标:
固有频率 | 垂直:1.0~2.0Hz 水平:1.0~1.5Hz |
隔振方式 | 空气弹簧 摆杆隔振 |
调平方式 | 自动调平 |
阻尼方式 | 多小孔空气阻尼 |
平台高度 | 800mm |
工作压力 | 0.2~0.4MPa |
空气源 | 静音空气压缩机 <50dB |
隔振效率 | 垂直:5Hz时:86~92% ;10Hz时:90~95% 水平:5Hz时:88~94% ;10Hz时:92~98% |
重复定位精度 | ±0.1mm |
台板平面度 | ≤0.05mm/m2 |
台板粗糙度 | ≤0.8μm,表面亚光处理 |
调节高度 | ±10mm |
最多添加5台