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光学平台
光学平台外形尺寸
1200×800×120mm(提供支撑桌)
1500×1000×140mm(提供支撑桌)
1800×1000×140mm(提供支撑桌)
平台性能
M6安装螺孔间距50×50mm
平台表面材质采用高导磁不锈钢板面
德国 SUSS光刻机MA/BA6
尼康NIKON光刻机
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Linkam MFS350张力热台
Linkam THMSG600冷热台
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品牌:赛默飞
型号:Trace1300 E