普发真空A4 / ADH系列多级罗茨干泵

A4 series

节能干燥多级罗茨泵，适用于所有半导体和涂层应用。

新一代苛刻的工艺流程泵

普发真空引入了新的A4系列。半导体生产中苛刻的工作流程总是给真空泵带来新的挑战。基于已证明和节能的多阶段根系技术，A4系列提供了一系列的干泵解决方案，不同的泵送速度从100到2300 m3/h。与以往的工艺泵相比，为了满足20纳米技术节点和以下的最新要求，腐蚀和副产物的冷凝性能得到了显著的提高。在延长的工艺寿命与低能耗相关联的情况下，A4系列泵是在市场中成本最低的。

为多个应用程序提供完整的解决方案

我们的新A4系列包括两款产品线，它们完全与前系列产品的泵完全兼容。我们提供了三种用于非关键应用程序的泵模型和十种不同的模型供您选择，用于在关键应用程序中进行最严酷的处理。

延长工作温度范围

泵配备有扩展温度管理装置，其覆盖低至高的操作温度，以防止泵内的副产物沉积或破裂。与高温精密轴承相关，提高了工艺的可靠性。

高耐蚀性

使用耐腐蚀材料，我们的A4X系列泵的寿命大幅度地提高了——在某些工艺过程中高达2倍。这使得这些干泵成为了化学汽相淀积和腐蚀处理的最佳选择。

CVD应用最有效的解决方案

由于采用了多级罗茨泵技术和高效率发动机，在工艺操作中，A4系列的功耗是其同类产品中最低的一个。结合了闲置模式的能力和用户友好的转速调整，这些干泵的使用支持最优的降低运营成本。

智能

A4系列配备了新的精密监测系统，包括新的功能，以改善故障的发生，并防止在过程操作过程中产生晶片碎片。

维修费用低

通过改进粒子耐受性，腐蚀和冷凝阻力，可以延长维修间隔和泵的寿命，这意味着额外的操作成本降低了。不需要现场例行维护。

客户受益

■ 高能源效率得益于多阶段的技术，高效的马达和有限的电加热器

■ 广泛的操作温度范围保护泵不受前体破裂或凝缩沉积作用的阻碍

■ 延长寿命的耐腐蚀材料

■ 高平均无故障时间和低拥有成本 

■ 高粒子宽容增加正常运行时间的工具 

■ 扩展的监视功能可以更好地控制泵的状况 

■ Semi S2和UL兼容

尺寸

A 124 H     A 204 H/X

A 604 H     A 804 H/X

A 1204 H    A 1504 H/X    A 1804 H/X     A 2404 H/X

抽速对比

ADH 系列

用于最新工艺应用的新型高性能干式泵

新型高性能干式泵

ADH 系列专门为太阳能、半导体和 LED 市场的苛刻工艺应用而开发，为N2 和 H2 提供 600 至 4,500 m3/h 的高性能抽速。

半导体： H2 高抽速

ADH系列产品性能为您的工艺带来以下优势：

• ALD工艺处理量：小分子气体的高抽速效率可以允许更快的在工艺步骤之间排空腔室。

• 外延和EUV：高抽速和大流量公差符合最苛刻的工艺规范。

太阳能和LED：氢气准备就绪

ADH系列为太阳能（a-Si 和 μ-Si PECVD）以及LED（MOCVDGaN，AlGaAs，AlGalnP...）提供最佳的氢气抽送效率。

无中间维护

所有轴承均经过了油润滑，不需要现场维护。通过改善粉末耐受性和冷凝管理，实现了较长的维护间隔以及泵寿命延长，这意味着降低了运行成本。

对工艺副产物的高耐受性

泵配备双重温度控制的水冷回路和集成的热氮吹扫，以防止粉末积聚或冷凝。强大的电机可以处理大量粉末，保证良好的重启能力。此外，精心挑选的材料可以承受腐蚀性化学清洗剂。ADH系列采用全新的监控系统进行升级，其功能有助于提高工艺可靠性。

用于低COO的高效率

在泵不用于该工艺时，智能模式可通过降低功率和氮消耗降低运行成本。得益于优化的设计，泵在同级抽送性能水平中可提供市场上最佳的功耗。优化的设计还可以降低发热量，从而降低冷却水流量。

坚固、安全

ADH系列的设计和材料能够承受极大的静态和动态内部压力应力。这确保在用于运行爆炸性气体（如氢气和硅烷）的应用时具有最高水平的安全性。

应用领域

半导体 平板显示器 太阳能电池 LED

客户受益

■ 高达4,500 m3/h 的抽速，在N2 和 H2 中具有较高的性能 

   使用50和60Hz电源具有相同的性能

■ 得益于润滑的轴承以及对工艺副产品的高耐受性，具有较长的维护间隔

■ 低功率和低耗水量实现低COO

■ 由于具有优异的抗静态和动态内应力，从而增加了安全性

尺寸
AD 600 H

AD 3060 H

AD 4560 H

抽速对比

AD 4560 H / AD 3060 H / AD 600 H   使用N₂

AD 4560 H 采用不同的罗茨泵转速  使用N₂