无腌膜光刻机-ProtoLaser LDI

无掩膜光刻机-ProtoLaser LDI详细说明

无掩膜光刻机简述：

无掩膜光刻机ProtoLaser LDI是一款多功能，高精度，桌面型无掩膜激光直写光刻机，用于在光致抗蚀基材上成像，无需掩膜，比传统光刻工艺形成的图像精度更高。工作幅面达100×100mm。最细通道宽度1μm。 ProtoLaser LDI是微流体通道设计和制作的理想工具。

无掩膜光刻机性能：
    无掩膜光刻机LPKF ProtoLaser LDI采用UV紫外激光技术，直接读取设计数据，激光直接在感光层上形成精细结构。无需昂贵的曝光设备，也无需外加工昂贵的掩膜。
    这一工艺可加工多种平整的基材表面，无特殊环境条件要求（推荐使用黄灯）。只需将样品放入标准或客户定制的承载装置，然后直接推入ProtoLaser设备中即可。
   该工艺为非接触式，因此不涉及工具损耗，设备多年不需要维护，几乎没有运行成本。这使得该设备对于创新性设计测试方面，是一款非常完美、耐用的工具。纳米光刻机LPKF ProtoLaser LDI很大程度上提高了创新实现的可能性。

无掩膜光刻机优点： 
    通过声光偏转器将100kHz光束定位，使极速激光直写成为可能，只需花费几分钟即可制作一款典型的微流体通道。自动检测功能可以弥补基材面或感光层不平的问题。

   无掩膜光刻机ProtoLaser LDI 支持DXF文件，并且可以对CAD文件进行修改。多种嵌入功能使微流体通道设计非常简单和高效。可选择不同激光刀具和算法，来优化激光直写速度得到精细结构。所有的准备工作都可以通过可视化软件进行控制。