信欧 S-LBS1000 光束稳定系统

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      光束稳定系统可用于抵消或纠正由振动、热量漂移，或其他对激光方位有不良影响的因素引起的光束指向和位置的变化。该系统可应用于所有激光设备和激光系统中。如果激光系统中有您不期望的波动或移位， 而您的激光应用需要有很高的精确性和稳定性，那么光束稳定系统可帮助您来达到这一目的。

      信欧光电所开发的光束稳定系统具有独立自主知识产权，系统主要基于对激光束的两个位置点采样,实现空间上4个自由度的调节，通过位置探测器PSD反馈位置误差信号来控制Nanomotor,从而实现保持光束位置的恒定。系统分为两类：科研级光束稳定系统（型号：S-LBS1000-R）和工业级光束稳定系统（型号S-LBS1000-I）），其中前者基于公司自主研发和生产的Nanomotor压电纳米位移促动器SNM01，后者基于公司自主研发和生产的快速直接压电驱动镜架SNM03，响应速度比科研级光束稳定系统所用的Nanomotor快10倍。由于Nanomotor的体积小，分辨率高，失电位置保持的特性使得Nanomotor非常的适合于此类光学系统的调节，另外Nanotomotor还可以应用于真空、紫外等应用环境。目前，Nanomotor正被广泛用于控制激光的指向漂移，能够显著提升系统的准确性，其应用范围包括半导体晶圆在生产制造过程中的测量、曝光控制、光束跟随等。同时也广泛应用在科研领域，如激光腔镜调节、晶体相位匹配、晶体腔内移位、偏振元件调节、薄膜测量系统，晶圆图案检测等。

光束稳定系统（科研级）

光束稳定系统（科研级）软件控制界面

光束稳定系统（工业级）

光束稳定系统（工业级）软件控制界面

光束稳定系统的总体布局如图1，在这个系统中，激光束经过两个反射镜M₁和M₂到达工作区域，每一个反射镜架装有两个实时调节位置的Nanomotor。同时，在光路中插入两个分光片，每一片分光片分别将少部分光反射到位置探测器PSD1和PSD2的光敏面上。理想状态下，PSD1所测光束应与M₂反射镜上的光斑为物象关系，PSD1给出的信号用以控制M₁反射镜，从而保证光斑在M₂上的位置为恒定。光斑位置固定以后，M₂镜架用于调整激光光束指向，PSD2用于检测光束偏差后，驱动M₂，确保光束输出位置居中。两个PSD互为参照点，从而在空间中确定一条直线，即输出光束被稳定在一条直线上，实现光束指向和位置的恒定不变。

典型光束稳定系统由2个位置敏感探测器PSD，4个Nanmotor压电纳米位移促动器SNM01组成的2个电动镜架（用于科研级光束稳定系统）或2个快速压电直驱镜架SNM03电动镜架（用于工业级光束稳定系统），1个智能控制器SDRV01（科研级）或SDRV03（工业级），4个SQM25镜架（分光镜用），1个SLH25镜架（聚焦镜用）、若干SPH系列高稳定杆架和相关光学元件（客户自供）组成闭环，用来消除输入光束的漂移，保证输出光束指向和位置的稳定。