GDR-30PR等离子清洗机

>> 产品特点

   台式小型机，PLC人机全自动控制，内置平板电极，RIE、PE模式转换，用于低污染及高洁净材料表面清洗、刻蚀、活化等工艺，适用于实验室及小批量工业化生产。

>> 技术参数    

 ◆ 设备外形尺寸

    630(W)×650(D)×420(H)mm

 ◆ 仓体结构(合金铝，约30升)  

    290(W)×290(H)×360(D)mm

 ◆ 放电电极(内置电容耦合电极)

    180(W) ×210(D) mm

 ◆ 等离子发生器

    频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

    可选择40KHZ中频等离子发生器

 ◆ 控制系统

    触摸屏（7寸）+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,  并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统

    德国莱宝(Leybold)真空泵   

    SMC截止阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器

 ◆ 压力控制

    PID闭环自动稳压控制（专利技术），控制精度±1Pa

 ◆ 气路系统

    2路工艺气体配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路

>> 相关应用   

  - 材料清洗、活化

  - 表面改性处理