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产品简介
亚纳米级二维定位工作台！
AU-NPS-XY系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计，使其达到纳米级的分辨率和重复性。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。
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全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计，电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用，而且拥有极高的精度，可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。
利用有限元分析对柔性铰链结构进行分析，使其在整个行程中产生的角位移低于25微弧度。在整个行程中可以保持更好的直线性。线性误差小于0.01%，滞后小于0.005%。
上海昊量光电设备公司推出的亚纳米二维微动台主要包括NPS-XY-100A和NPS-XY-100B两款产品。产品性能大体相似。材质有所差异。
其中AU-NPS-XY-100A采用超级不胀钢（因瓦合金）材质，其热膨胀系数极小达到0.3ppm K-1，使热漂移达到最小，这对于纳米级的工作台来说是极其重要的。
AU-NPS-XY-100B采用铝合金结构，虽然相对于因瓦合金来说有较高的热膨胀系数（23ppm K-1），但是由于其拥有较轻的移动质量，因此具有更高的速度。
u 主要特点
l 亚纳米级的分辨率
l 高的带宽
l 高速响应
l 高的可靠性
l 结构紧凑
l 压电陶瓷驱动
l 柔性铰链设计
l 电容位移传感器闭环反馈
u 主要应用
高精度显微镜、原子力显微镜、扫描探针纤维镜、近场扫描光学显微镜等。
u 产品主要参数
型号 参数 | AU-NPS-XY-100A | AU-NPS-XY-100B | |
Material | Super Invar (Bright nickel plated) | Aluminium (Bright nickel plated) | |
Size （mm） | 100 x 100 x 23 | 100 x 100 x 23 | |
Range（mm） | Minimum | ± 50 | ± 50 |
Typical | ± 55 | ± 55 | |
Maximum | |||
Resonant frequency: 0 g load （HZ） | Minimum | 450 | |
Typical | 350 | 500 | |
Maximum | |||
Maximum load （kg） | Minimum | ||
Typical | 1 | ||
Maximum | 1 | ||
Position noise （nm rms） | Fast | 0.7 | 0.7 |
Medium | 0.5 | 0.5 | |
Slow | 0.25 | 0.25 | |
Hysteresis (peak to peak) | Minimum | ||
Typical | 0.005% | 0.005% | |
Maximum | 0.01% | 0.01% | |
Linearity error (peak) | Minimum | ||
Typical | 0.01% | 0.01% | |
Maximum | 0.02% | 0.02% | |
