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应用于电镀、涂镀、合金、薄膜和电镀液中Ti22-U92间元素的厚度和组成信息的同时测定分析。用于电子元器件,半导体,PCB,汽车零部件,功能性电镀,装饰件,连接器……多个行业
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主要规格 规格描述
X射线激发和检测 牛津仪器制造的100瓦(50kV-2.0mA)微焦点钨靶X射线管
高分辨封气(Xe)正比计数器可获取最高的计数灵敏度,配合二次滤光器机构实现最佳的检出效果
数字脉冲处理 4096通道数字多道分析器,数字光谱处理过程可获取最高的信号采集(每秒计数量),从而保证最好的测量统计结果
手动或自动透镜控制 手动透镜控制:通过手动调整DIM旋钮控制分析聚焦距离
自动透镜控制:激光束自动寻找DIM系统的最佳分析聚焦距离
自由距离测定 简化系统设置和维护
在聚焦距离范围内仅需要一个校正
对不规则样品更灵活的测量
在12.7mm-88.9mm的自由距离内,可准确测量样品表面的任何一点
通过DIM旋钮或使用自动激光聚焦功能,可快速、准确的确定聚焦距离
附带自动透镜功能的自动激光聚焦 独特的、自动样品摆放系统
激光扫描单键启动
消除样品碰击Z轴的机会
改善DIM的聚焦过程
标准激光聚焦 标准激光聚焦功能在所要求的聚焦聚焦上,自动寻找正确的Z轴位置,提高分析再现性,结果不受人为操作的影响
Z轴聚焦扫描单键启动
改善DIM和常规固定焦距测量时的聚焦过程
微小准直器 仪器至少装备一个客户指定规格的准直器以最优化测量,并提高测量效率
备有各种规格准直器(0.015mm – 0.5mm),园形或矩形供客户选用
多准直器程序交换系统可同时安装4个准直器
大样品室设计 方便超大样品的推拉式平台:如大面积PCB板、较长的管材样品
大型开发式样品室:方便于从各方向进样和观察样品
三种样品台备选:可编程XY轴样品台、手动XY轴样品台、固定位置样品台
标准配置自动化Z轴:最大高度230mm
集成化计算机 工作站式设计:改善人机工程学、方便使用
简化设备安装:仅需要接入主电源线,没有其他电缆
减少整机占用空间
USB和Ethernet接口:打印机、刻录机、局域网和远程在线支持功能
其他硬件特点 CCD相机拥有2x、3x或4x的变焦功能,可实现对测定样品的高分辨、实时、彩色图像观测
温度补偿功能监测系统温度,并自动校正由于温度变化可能引起的仪器漂移,保证长期的仪器稳定性
光谱校准、单击鼠标执行系统性能自检和校正程序保证仪器长期的稳定性
坚实耐用的仪器设计适用于各种工业环境
一体化工作站设计实现最佳的人机工程学
新100瓦X射线管 - 市场上所能提供的最强大的X射线管。提高30%测量精度,同时减少50%测量时间
更小的X射线光斑尺寸 - 新增15mil直径准直器,可测量电子器件上更小的部位。提供改进的CCD摄像头及缩放装置,同时提供更高精度的Y轴控制。
距离独立测量(DIM) - 更灵活地特殊形状样品,可在DIM范围内12.5-90mm(0.5-3.5inch)对样品表面进行测量,Z轴可控制范围为230mm(9inch)。可通过手动调整也可以通过自动镭射聚焦来实现对样品的精确对准。
自动镭射聚焦 - 自动寻找振决的聚焦距离,改善DIM的聚焦过程并提高系统测量再现性。也可选择标准的镭射聚焦模式。
全新的大型样品室 - 更大的开槽式样品室(580x510x230mm : 23x20x9inch),开槽式设计可容纳超大尺寸的样品。可从各个方向简便的装载和观察样品。
3种样品台选项 - XY程控控制(200x200mm或8x8inch移动范围)/XY手动控制(250x250mm或10x10英寸)/固定样品台;标准配置Z轴程控控制(230mm或9inch移动范围)。
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