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PLASMA
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NPL-3 LGI-505 LGI-511
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欧洲
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氮分子激光器
PLASMA公司是世界上顶尖的气体激光器生产商，其产品主要特点是高质量、长寿命。
氮分子激光器的发射带在UV波段，主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。
PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器，由于其独特的性能（波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W），被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亚微米量级的元件。此外，还被用于多种感光材料的高效曝光光源。
型号 | NPL-3 | LGI-505 | LGI-511 |
波长, μm | 0.337 | 0.337 | 0.337 |
脉冲能量, μJ | 30 | 120 | 240 |
平均功率, mW 风冷 水冷 | 3 | 40 120 | 240 |
模式 | TEMoo | TEMmn | TEMmn |
脉冲重复频率: 风冷 水冷 | 1-100 | 5-400 5-1000 | 1-1000 |
脉冲宽度, ns | 5 | 6-8 | 6-8 |
光束直径, mm | 2 | 5 | 5 |
发散角, mrad | - | 7 | 12 |
制冷 | 风冷 | 风冷 水冷 | 水冷 |
平均寿命, h | 5000 | 5000 | 5000 |
尺寸, mm | 590×255×155 | 激光头：840×343×238 电源：484×510×212 | 1140×525×345 |
重量, kg | 10 | 激光头：35 电源：35 | 105 |
