傅里叶拉曼CryoSAS全自动超低温硅分析系统

CryoSAS超低温硅测试分析系统傅里叶拉曼光谱仪 是半导体材料质量控制专用机型，主要应用在光伏和电子工业领域超低温硅分析控制。

针对光电和半导体工业领域超高灵敏度和较低温度的严苛要求， 布鲁克公司特别设计的超低温PL光致发光测试系统和CryoSAS超低温硅测试分析系统傅里叶拉曼光谱仪无疑是行业内无以伦比的领军产品。 PL用于III-V族中痕量杂质的测定， 硼和磷的最低检测极限可以达到1ppta。 而CryoSAS也已经成为全球硅生产行业专用测试仪器的金牌标准。 另外， 布鲁克公司也独家推出业内第一款商业化的超大尺寸拉曼扫描成像系统—Raman HTS，可用于超大薄膜太阳电池板的研究。

CryoSAS超低温硅测试分析系统傅里叶拉曼光谱仪是一款独一无二的全自动超低温硅分析系统， 用于太阳能电池级硅和电子级硅中的杂质定量分析。根据ASTM/SEMI等国际标准， CryoSAS可以定量测试硅中碳、氧以及其他痕量杂质（如硼、 磷和砷等）。与经典的化学方法相比， 这种方法灵敏度更高， 测量更快捷， 而且不破坏样品， 仪器操作简单，不需要液氦， 符合现代高效质量控制的要求。

High sensitivity:

CryoSAS analyzes shallow impurities (e.g. Boron, Phosphorous etc.) down to the low ppta level according to the ASTM/SEMI MF1630 standard. Furthermore it simultaneously analyzes Carbon and Oxygen down to the low ppba level according to the ASTM/SEMI MF1391 standard.