纳米(微米)压痕 划痕测试仪

仪器简介：
纳米压痕测试仪用于薄膜、涂层、基底等材料的高精度纳米机械性质测量，该仪器能快速提供您材料(软、硬、脆、韧各种材料)的硬度、杨氏模量等性质。

应用领域

半导体技术(钝化层、镀金属、Bond Pads)；

存储材料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层)；

光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层)；

金属蒸镀层；

防磨损涂层(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；

药理学(药片、植入材料、生物组织)；

工程学(油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS)； 


技术参数：
纳米压痕试验仪规格
最大压痕深度 4μm & 25μm自动距离修正(1000μm可选配)
深度分辨率(理论) 0.006nm
深度分辨率(防振台*) 0.5nm
最大负载 50mN & 500mN自动距离修正
负载分辨率(理论) 0.08μN
负载分辨率(防振台*) 1μN
X-Y运动范围 200 x 100毫米
X-Y横向分辨率 0.15μm
Z向马达 90毫米
物镜镜头 标准: 10x, 50x, 100x (选配: 5x, 20x)


主要特点：
1) 多频率压痕测试 – 这种技术对于塑料高分子、MEMs等黏弹性受频率影响的材料变形研究非常有用，提供材料纳米压痕试验全频率范围的黏弹性响应；
2) 深至15nm的硬度&杨氏模量测试；
3) Windows XP环境下自动操作；
4) Spherical, Vickers及Berkovich纳米压痕测试；
5) 材料黏弹性的动态机械分析；
6) 潜变、疲劳、断裂刚性测试；
7) 压痕的分布地图绘制(Mapping)；
8) 选配的高低温测试；
9) AFM/SPM成像用于纳米尺度压痕图像观测；
10) 可以升级增加纳米(微米)划痕、微米硬度测试模块功能；