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PS4L 手动探针台
SemiProbe的手动探针台是模块化结构设计最明显和最灵活的300mm手动探针台。它采用了SemiProbe独家专利技术Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计，提供了无与伦比的灵活性和大大地节省了设备资金费用。PS4L系列探针台满足了客户对规格参数精准的要求。.
晶圆探针系统的PS4L系列探针台是基于SemiProbe独家专利技术Probe System for Life (PS4L)可适应性结构而设计的。与传统的探针台相比，SemiProbe的PS4L系列探针台中所有的基础模块-基座，平台，卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等等都是可以更换的。这样的特点使得PS4L系列探针台以非常有竞争力的价格满足了多种应用需求和预算要求，为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。独特的模块化设计使得客户可获得测试性能精准地满足了他们的要求。更重要的是，PS4L可随着测试环境和测试条件的改变从而轻易地进行现场升级以满足新的要求。比起传统的探针台，这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和最经济的费用完成最有效的测试。
SemiProbe M12探针台可有完整的整套附件可选，包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座，探针，激光，光学部件，CCTV系统，隔振台，暗箱等等。
产品特征和优势：
1.可现场升级，300mm手动探针台可升级为450mm手动探针台
2.可现场升级，300mm手动探针台可升级为450mm半自动探针台
3.所有关键部件都是可以更换的，这样使得系统更便于配置满足各种应用需求和预算要求-无论是现在还是未来
4.软件和硬件模块提供了永久性的现场升级功能
主要应用/服务市场：
设备特性，MEMS，光电，高频/微波，光伏，失效分析，光伏，材料科学等等
规格参数
| 尺寸 | 1200mm X 550 mm X 900 mm (47.3” X 21.6” X 35.4”) (W,H, L) – with optics |
| 重量 | 250Kg (550 lbs.) - Vibration Isolation (table and frame) |
| 卡盘平台 X-Y 移动 | Severalstages to select from to meet performance and budget requirements Travel:305 mm x 305 mm Planarity:+/- 10 μm over travel range Resolution:5 μm IndependentX and Y linear movement |
| 卡盘平台Z 移动 | ZTravel: 10 mm ZContact/Separation Stroke: 4 mm adjustable |
| Theta移动 | Travel:360 degrees |
| 卡盘 | Vacuumor mechanical clamping, round or square, ambient, thermal and custom Handledie, waffle packs, sawn wafers on frame, broken wafers and full wafers up to300 mm Nickelplated steel with concentric vacuum rings (standard), other plating materialsavailable Planarity:15 μm |
| 压盘 | Aluminumwith stainless steel top 360degree manipulator placement Manipulatorfixation – magnetic, vacuum |
| 压盘移动 | PlatenLift: Choice of fixed or adjustable Adjustable:Coarse - 25 mm, Fine – 6 mm |
| 显微镜装置/移动 | Mounting – Boom, Post or Bridge Movement – Manual or Programmable – 50 x 50 mm, 50 x 75 mm, 100 x 100 mm |
| 光学组件 | StereoZoom, Zoom Tube, A-Zoom or Compound Microscope |
| 其它工具 | Power:AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A Vacuum:23 Hg or -0.8 bar |
瞬态光电流（TPC）/瞬态光电压（TPV）测量系统
HAMAMATSU 日本滨松EMMI/OBIRCH微光显微镜PHEMOS系列
CV仪/汞探针(美国四维公司)Four Dimensions,Inc.(4D)
速普仪器【SuPro】薄膜应力测量仪FST5000
Thermofisher ELITE
光学表面缺陷分析仪
北京正通远恒科技有限公司
德国UniTemp 回流焊炉RSS-160,RSS-210
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Laser Annealing,激光快速退火炉
南通宏腾微电子技术有限公司
DAGE X-Ray
北京锐峰先科技术有限公司
