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VTC-5RF是一款5靶头的等离子射频磁控溅射仪,针对于高通量MGI(材料基因组计划)薄膜的研究。特别适合用于探索固态电解质材料,通过5种元素,按16种不同配比组合。
技术参数
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电源 | 单相220 VAC, 50 / 60 Hz |
射频电源 |
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磁控溅射头
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真空泵 |
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可选购精密石英振荡测厚仪,安装在真空腔体内,实时测量薄膜的厚度,精确度为0.1 ?(需水冷) | |
净重 | 60kg |
质量认证 | CE认证 |
质保 | 一年质保期,终生维护 |
应用注意事项 |
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