LEICA INM100 半导体/FPD检查显微镜
LEICA INM100 半导体/FPD检查显微镜

¥40万

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徕卡

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INM100

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欧洲

核心参数

  

业内最好的半导体/FPD检查显微镜,没有之一。



    LEICA INM100自动芯片分析显微镜配备其配套的控制器、摄像头,软件,PRIOR纳米平台集成了整个Imaging System。

  是对深亚微米工艺芯片进行连续性、大面积的微观图片信息采集的最佳工具。

  使用方法:

  ① 将试样芯片置于直线刻度自动纳米平台上,试样芯片与电动平台之间的位置关系是相对固定的

  ② 设定显微镜的放大倍数,一边通过目镜观察,一边调节电动台控制器的操纵杆和转钮,使显微镜的物镜对准试样的某一微观区域(一般是试样的最边缘)

  ③ 试样芯片通过显微镜所成的像由CCD采集

  ④ CCD控制器将CCD所采集到的图片信息进行数/模之间的转换

  ⑤ CCD控制器处理过的信号在计算机的显示器上显示出来,在图像达到满意的效果之后,操纵拍摄控制软件,便将该图像保存在计算机中

  ⑥ 第一张图像保存后,由于电动台控制器具有设定的程序,控制器会控制电动平台自动移动至下一相邻的微观区域(逐行或逐列,两微观区域共一边界),从而使计算机的显示器上呈现第二个微观区域的图像信息。由于处理过的芯片的表面并不平坦,且放大倍数较高,可能造成显示器上图像并不清晰,此时可以通过调节电动台控制器来调节显微镜的焦距,直至获取该微观区域清晰的图像。拍摄第三个微观区域…第四个…整个芯片拍摄完毕。

最新版本的自动芯片拍照软件可以同时处理上万张照片的拍摄,自动拼接合成功能,并可以将上万张照片的合成照片显示在计算机屏幕上,解决了海量照片无法显示的难题。为全面深入地分析芯片提供了最佳的工具。


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