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一种新型的Mems测试模式
MCP Mems测试平台是一种用于微电子机械系统的新概念实验室仪器，他可以用来精确地表征电容式Mems静态和动态的电气及机械特性，共振频率可达500Khz. 给你直接提供Mems的真实行为基本信息，例如共振频率，品质因子，残余电容，吸合电压，释放电压。 通过软件，其他一些期间参数也可以被提取出来，例如静电软化，机械偏移，过度蚀刻，机械非线性等。可以针对客户需要定制专门的测试流程。 所有这些这需要一台仪器就可以实现。 MCP测试平台最初设计是用于Mems惯性器件测试如加速度计和陀螺仪，但它也可以被用来测试其他一些器件比如磁力计，微镜，麦克风，压力传感器和其他一些Mems器件。
产品特点：
品牌：Itmems
10Ff-100pF电容测量范围；
<1fF rms 电容检测分辨率；
超过130kHz动态电容变化量；
1mV-40mV驱动电压；
“In-operation”特性描述；
压敏电阻检测（可选）
测试能力
测试模式：单端和差分
残余电容
静态电容变化；
不同静电下激励下的动态电容变化 （正弦，方波，三角等其它波形激励）
不同外部同步压力下的动态电容变化（电容，加速度，角度矢量等）；
频率扫描
直接参数提取 （无需用户提供其他数据）
电容偏移 （对于差分结构的Mems）
吸合电压和释放电压；
固有/本征频率；
品质因子
波特图；
间接测试 （用户需提供一些Mems数据）
机械偏移 （对于差分结构的Mems）
表面电荷；
陀螺仪的正交性误差；
断裂强度和杨氏模量的评估
附着力及表面接触老化。
