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Model 235--500mm焦距真空紫外光谱仪
主要特点：
>500mm焦距长度高分辨率谱仪
>不锈钢内部焊接，保证稳定性及高真空度
>Seya-Namioka结构，波段最短可达30nm
主要技术参数 | |
波长范围 | <30nm-300nm* |
光学结构 | Seya-Namioka |
真空度支持 | 10-6Torr,或10－10Torr |
焦距长度 | 500mm |
分辨率，半高宽 | 0.05nm* |
色散 | 1.66nm每毫米 |
校准精度 | 0.1nm |
重复性 | 0.005nm |
步距 | 0.0002nm |
焦平面尺寸 | 25mm |
数值孔径 | f/11.4 |
光栅尺寸 | 30*50mm 凹面光栅 |
杂散光抑制比 | 10-5 |
充氮气 | 可选 |
可选探测器 | CCD、MCP或单点探测器 |
狭缝 | 10um-3mm连续可调，高度2-20mm可调，手动或电动可选 |
*以上参数均为1200g/mm光栅参数
不同光栅主要参数 | ||||||
光栅密度（g/mm） | 3600 | 2400 | 1800 | 1200 | 600 | 300 |
分辨率** | 0.02 | 0.03 | 0.035 | 0.05 | 0.1 | 0.2 |
色散（nm/mm） | 0.55 | 0.8 | 1.1 | 1.6 | 3.2 | 6.4 |
波长范围30nm至 | 100nm | 150nm | 200nm | 300nm | 600nm | 1.2um |
**分辨率测试条件：10um狭缝宽度，2mm狭缝宽度，184.9nm
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