激光 反射镜 微型反射镜 扫描反射镜 双轴MEMS微型反射镜
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双轴MEMS微型反射镜

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美洲

  • 金牌
  • 第14年
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双轴MEMS微型反射镜

     QQ截图20150409113520    这种无万向节的两轴(Tip/Tilt)MEMS扫描反射镜(微型反射镜)是一种光束控制(2D光学扫描)技术,应用在很多工业领域。该反射镜基于ARI-MEMS制造技术,光束扫描速度超快且功耗超低,它在两轴方向上反射激光角度可达32度。相比于大尺寸的振镜光学扫描仪,MEMS反射镜所需的驱动功率要小几个数量级。驱动器即使在全速连续工作时的功率也只有几个微瓦。

MEMS反射镜完全由单晶硅制造,可得到优越的可重复性和可靠性。光学平面反射镜镀有要求反射率的薄膜。较大尺寸的反射镜是粘贴在驱动器上的。库存反射镜的直径范围从0.8mm到4.2mm,对于特殊应用可做到9.0mm。

主要优势

  • 倾斜角是模拟量,这是与数字微型反射镜的主要差异,数字型不能用于任意方向上的光束控制。换言之,如果倾斜角要求是6.15o,只需要施加相应的电压就可以了,而且可以维持该角度任意长时间,几乎零功率消耗。

    • 点对点扫描,一个电压值对应一个角度值。

    • 模块化设计

  •    动态模式扫描

典型应用

 

  • 投影展示

    • 3D扫描和雷达成像

    • 3D追踪和位置测量

    • 激光打标和雕刻

    • 远程通信

    • 自由空间通信

    • 生物成像

规格参数

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