仪器种类: 进口等离子体表面处理仪
射频频率: 2.54Hz
功率: 300W
设备尺寸: 根据客户定制规格
样品腔容积: 根据客户定制规格
样品腔材质: 根据客户定制规格
工作气体: 根据客户定制规格
控制方式: 全自动
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开关柜:
宽 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm
腔室:
? 1200 mm、深 2500 mm
腔室容积:
约 2800 升
气源:
3 个由 MFCs 控制的气体通道
发生器:
1 件 (40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)
控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
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