YC-MS10 精密元件形状测量仪
YC-MS10 精密元件形状测量仪

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YC-MS10

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核心参数

一、产品介绍

   YC-MS10是一款针对精密模具、光学模仁及各类自有曲面进行形状公差检测的专业测量仪器,作为实现纳米模具加工关键技术之一,该仪器提供精密测量与评价功能,以与大规模现代化相符的性价比实现各类测量需求。

二、性能特点

1、采用卧式双头测头:为了实现高精度测量需求,采用卧式双测头实现对测量仪系统误差检测和补偿,最大限度地减小系统误差对测量结果的影响;

2、采用接触式测量方法:通过气动技术和预压机构,实现测量力的精确控制,克服传统接触式测量易对被测物表面损伤影响,弥补非接触式测头对表面光亮材质反光的不适应性缺陷,极大拓展接触式测量应用范围;

3、测量精度高:采用具有自主专利技术的空气导轨,以及高分辨率位移传感器,配合自主研制卧式双测头以对测头安装轴系运动误差进行实时补偿,可将测量精度由微米级提升到亚微米级甚至更高;

4、多样化测量仪应用技术:不仅为客户提供测量仪,还可根据客户需求,提供测量关键部件和测量应用技术,确保测量仪能为客户提供最大效益,为广大客户提供精密元件形状测量全套解决方案。



三、技术指标

轴系分辨率

20nm

测头分辨率

20nm

测量范围

50mmx50mmx10mm

检测指标

形状误差(P-V)、表面粗糙度(RMS)

测量精度

0.2um

四、应用领域

适用于SMT、半导体、金属制品、太阳能、电子制造、汽车制造等领域精密零件(如电子配件、塑胶件、模具、光学模仁、金属模板、Mask板、铜箔、玻璃等)的厚度、平面度、表面粗糙度等形状公差精密测量需求。




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