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Raith的ionLINE (TM)系统是将聚焦离子束和光刻系统完美结合的纳米加工系统。
它结合了不同的聚焦离子束技术,稳定性高,全自动控制,分辨率高,重复性高。
ionLINE 有着Raith研发的NanoFIB-TWO纳米加工离子枪,以及从Raith电子束曝光机系统里移植过来经过时间考验的激光干涉工作台和专业的曝光软件。
离子束曝光系统用很多方法手段,以不同的工艺步骤完善了纳米加工工艺:离子束曝光系统不再局限于基于光刻胶的曝光,更多地使用直接的图型化技术,如Milling、刻蚀或沉积,以及直接掩模包括硬掩模,注入或功能化。
ionLiNE真正的离子束光刻机
ionLiNE发展高效的工艺
适用各类技术改成——灵活的技术手段
ionLiNE除了可配备标准部件,如进料室、光学探测器、实时工艺监测和三维载片台外,还可增加额外的功能:
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