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倾斜平移台采用了2个APA®致动器，可以产生两种类型的运动：
?Z当两个致动器同步致动时，轴运动（平移）可达80μm
?当两个致动器相反致动时，ΘX运动（平移）可达+/- 0.6°
倾斜平移台TT60SM基于APA60SM而设计，配备应变计以消除回程差。如果只要求倾斜运动，仅需要一个通道。TT60SM要求使用推拉式驱动器。
参数 | 单位 | TT60SM |
型号 | V- TT60SM | |
备注 | - | |
传感器 | SG | |
主动轴 | TZ,RX | |
最大空载位移[Tz] | um | 80.0 |
角位移[Rx] | mrad(+/-) | 11.00 |
Y方向的最大面外位移 | um | 25.0 |
电压范围 | V | -20…150 |
硬度 | N/um | 2.0 |
高度(Z 轴) | mm | 18.0 |
宽度(Y 轴) | mm | 13.0 |
长度(X 轴) | mm | 25.0 |
纵向分辨率[Tz] | nm | 0.8 |
角度分辨率[Rx] | urad | 0.1 |
质量 | g | 65 |
空载共振频率(在致动方向) | Hz | 3000 |
响应时间 | ms | 0.17 |
电容 (每个电气接口) | uF | 1.55 |
机械接口(有效负载) | 平坦表面 2.5 *8mm2 | |
机械接口(框架) | 2 M2螺纹孔 | |
电气接口 | 4 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug |
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