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艾里卡特
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MS&MCS&MCRS系列
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美洲
产地类别： 进口
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Alicat的MS系列数字式质量流量计可精确、快速测量腐蚀性气体(如：NH3、H2S、SiH4等)的质量流量、体积流量、压力和温度。MCS系列质量流量控制器通过定制化的高速比例控制阀还可精确控制腐蚀性过程气体的质量流量、体积流量和压力。
MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器的核心部件是Alicat专利的层流压差技术，确保在大流量情况仍然是线性流动，从而补偿了工艺温度和压力变化对质量流量及体积流量产生的影响。所有Alicat质量流量计&质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat提供全方位的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。
MS/MCS系列质量流量计/质量流量控制器采用全不锈钢结构及弹性密封材料，内置34至36种标准气体供选择。集成式多功能数字显示屏允许用户通过显示屏按钮操作便可进行气体切换、设定值输入及PID阀门调节。MS/MCS系列设备支持标准的模拟通讯和RS-232数字通讯模式，另有各类定制化选项供特殊项目需求，如：用于危险环境的ATEX(欧洲)1类2区和CSA(美国)1类2区认证产品等。另有便携式(MBS系列)质量流量计可选。
产品应用
Alicat的MS/MCS系列数字式质量流量计/质量流量控制器为腐蚀性过程气体应用的首选，如：半导体行业等。多变量测量与控制、多气体标定以及100:1量程可调比使得仅用一台MS/MCS系列质量流量计/质量流量控制器便可取代多台设备发挥的功效。最高可达0.4%的精度、0.2%重复性及不到100毫秒的控制响应时间最大程度优化了气体控制过程。
MS/MCS质量流量计&质量流量控制器可测量与控制从0-0.5 sccm到0-3000 slpm的满量程的任何流量。
阅读本操作手册将有助于您更有效地使用设备，本手册涵盖下列艾里卡特设备： MC系列质量流量控制器 MCR系列质量流量控制器 WHISPER系列低压损质量流量控制器 MCS系列质量流量控制器 MCRS系列质量流量控制器 MCV系列质量流量控制器 MCP系列质量流量控制器 MCD系列双向质量流量控制器
Alicat的MS系列数字式质量流量计能精确快速地测量NH3、H2S和SiH4等腐蚀性气体的质量流量、体积流量、压力和温度，MCS&MCRS系列质量流量控制器还可通过高速比例控制阀精确地控制质量流量、体积流量和压力，其核心部件是Alicat专利的层流压差技术，确保在大流量情况仍然是线性流动，从而补偿了工艺温度和压力变化对质量流量及体积流量产生的影响。所有Alicat的气体流量和压力设备均具有NIST可溯源校准证书及有条件的终身质保。
Alicat的MS系列数字式质量流量计能精确快速地测量NH3、H2S和SiH4等腐蚀性气体的质量流量、体积流量、压力和温度，MCS&MCRS系列质量流量控制器还可通过高速比例控制阀精确地控制质量流量、体积流量和压力，其核心部件是Alicat专利的层流压差技术，确保在大流量情况仍然是线性流动，从而补偿了工艺温度和压力变化对质量流量及体积流量产生的影响。所有Alicat的气体流量和压力设备均具有NIST可溯源校准证书及有条件的终身质保。
质量流量计常用于需要精确测量气体流量的系统。Alicat的M系列数字式/模拟式质量流量计是一款精密的、可重复型的、可定制化的、被设计用于各种不同应用的质量流量计。Alicat所采用的专利层流压差技术保证了速度极快的线性测量。 流量计还配有一系列标准功能，如：200：1量程可调比，可精确测量满量程两百分之一的流量；内置30种气体可选，为客户减少由于气体种类多样性而造成的不必要的库存；多功能的按钮操作数字显示屏，为用户提供了无需任何专用通讯系统或软件的操作界面；有条件的终身质保可为您省去数百美金维修费。Alicat质量流量计的性能业界领先，可终身使用。
