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Jandel可调节高度的自动探头
Jandel工程有限公司提供了可调节高度探针台的自动Z运动(AFPP)用于进行四点探针测量。
AFPP可以用于测量各种各样的小样本大小薄层和300毫米晶圆锭250毫米高(厚的样品安置在请求)。
可以使用AFPP独立提供的电源适配器,或者可以动力和由Jandel RM3000使用单一铅连接这两个工具之间。
可测晶片直径 | 直径d≤300mm |
可测晶片厚度 | 高度h≤250mm |
自动停机 | 具有接触到样品的传感器（通过传感器检测接触到样品） |
手动控制 | |
远程控制 | Jandel-RM300能够提供电源和样品接触 |
系统配置
组成部件（产品配置）：
1. 测试台——1个
2. AFPP主机——1个
3. 可调节高度的轴杆——1根
4. 四探针探头——1个
5. 电缆线——一根
设备尺寸
1. 可调节高度测试台：W×L×H（mm）320×370×8
2. AFPP主机：W×L×H（mm）64×215×67
3. 可调节高度轴杆:d（mm）19；L（mm）200（可定制最高额高度到1000mm）
型号 | 尖角（u） | 压力（g） | 间距（mm） |
A | 40 | 100 | 1 |
B | 100 | 100 | 1 |
C | 200 | 100 | 1 |
D | 500 | 70 | 1 |
E | 40 | 200 |
|
F | 40 | 100 |
|
G | 100 | 100 |
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H | 200 | 100 |
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A-D型号和E-H型号 | |||
