仪器种类： 分子泵
产品类型： 无油泵
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FF-100/110型脂润滑分子泵
产品特点：
任意角度安装，便于系统集成，紧凑型结构
复合抽气结构，高前级压强下仍保持较大抽速
高强度转子，适用于复杂工业过程
使用方便、应用范围广、性能稳定
技术指标：
| 进气口法兰 | DN100 CF DN100 ISO-K | 排气口法兰（ISO-KF） | DN25 |
| 抽速速率（L/s） | N2：110 He：100 H2：50 Ar：100 | 压缩比 | N2：1E8 He：1E2 H2：1E2 Ar：1E8 |
| 极限压强（Pa） | CF：6E-7 ISO-K：6E-6 | 最大连续前级压强（Pa） | 200 |
| 最大前级压强（Pa） | N2：300 | 最大气载量（sccm） | N2：300 He：240 H2：180 Ar：110 |
| 额定转速（RPM） | 42300 | 启动时间（min） | ≤3 |
| 冷却方式 | 水冷或风冷（环境温度5-32℃时可风冷） | 冷却水流量（L/min） | ≥1 |
| 冷却水温度（℃） | ≤25 | 电源电压（VAC） | 220±22 |
| 最大功率（W） | ≤300 | 适配电源型号 | FD-110A |
| 建议前级泵（L/s） | 2 | 重量（kg） | 8 |
应用领域：
平板显示、薄膜电池、Low-E玻璃、ITO、碳化硅、加速器、真空炉、晶体晶振
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 可提供专业培训
免费仪器保养: 按需提供阶段性保养
保内维修承诺: 免费维修配件（可议）
报修承诺: 按客户要求最快到达现场
中科科仪真空泵FF-100/110的工作原理介绍
真空泵FF-100/110的使用方法?
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