技术参数：
MPC9500
控制流量范围 设定显示分辨率
空气、氮 00.2~0.05 0.002
氩 0.02~0.05 0.002
二氧化碳 0.12~0.3 0.002
MPC0002
控制流量范围 设定显示分辨率
空气、氮 0.08~2.00 0.01
氩 0 .1~5.0 0.02
二氧化碳 0.04~1.20 0.005
MPC0005
控制流量范围 设定显示分辨率
空气、氮 0.1~5.0 0.02
氩 0 .1~5.0 0.02
二氧化碳 0.06~3.0 0.01
MPC0020
控制流量范围 设定显示分辨率
空气、氮 0.4~20.0 0.1
氩 0.4~20.0 0.1
二氧化碳 0.3~16.0 0.1
主要特点：
世界最小•最轻的质量流量控制器
世界最小（面板 尺寸48mm，深73.7mm 最轻300公克）
控制盘嵌入型主体，搭载超小型比例控制阀，完全自动化控制流量
简单操作•安装容易
即使浮子式流量计，替换时也非常的方便顺手，实现简单操作安装容易的好需求
轻松操作 MPC一次完成流量设定
即由选购品的类比输入设定，通讯功能（RS-485），从外部（PLC等）也可以轻松变更设定值
搭配山武原创的µF感应器（MICRO FLOW）
不受压力，温度变动等影响，实现高速（1秒），高精度（2%FS）的流量控制。
多样化的功能标准配备
符合客户多方面的需求，减低装置的成本。
在满足多元的需要
流量设定数值化的管理
可弥补浮子式流量计，不可避免“设计与使用时的条件差与所引起的测量误差
解决高价格，复杂以及操作困难等问题，精确控制流量
不必大规模变更设计，如设置场所，酵母等影响，可轻松替换
