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系统
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测试技术
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基于夏克-哈特曼波前测量技术
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测试软件
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Sensoft
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测试能力(Single Pass光路)
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各种透射性光学元件和光学系统，如透镜、镜头、滤光片等
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测试能力(double pass光路)
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各种透射及反射性光学元件及光学系统，尤其适合表面测量
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工作波长
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白光或任意波长（通过滤光片实现），也可以选激光作为光源
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架构
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立式
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电脑
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可选，用户提供标准电脑即可
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软件功能
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在Windows XP 下，具有控制及分析计算功能
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自动位移台
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移动轴
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2 个垂直移动 Z 轴位移台
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技术
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集成了磁性编码器的步进马达
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步进解析度
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0.02μm (螺纹间距 1mm)
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定位重复性
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0.8μm
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行程范围
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150mm each stage for a total of 300mm
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长度测试不确定性
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8μm
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速度
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三种速度可调: 慢速/中速/快速
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控制软件
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由 Sensoft 控制
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外观
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外形尺寸 (L x H x D)
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600 x 370 x 320 mm (approx)
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重量
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approx. 20 kg
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测试精度 (all values at 632.8nm)
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泽尔尼克系数重复性
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λ/300
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测试不确定性
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λ/20
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适用于产线和实验室使用的波前测试仪器
