-135℃水汽捕集泵TH-135-3P
-135℃水汽捕集泵TH-135-3P

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TH-135-3P

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中国大陆

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核心参数


 

-135℃水汽捕集泵

产品名称产品型号市场价DGM价
135℃捕集泵TH-135-3P13200092400
135℃捕集泵TH-135-5P14000098000
135℃捕集泵TH-135-7P158000110600
135℃捕集泵TH-135-10P180000126000
135℃捕集泵TH-135-12P216000151200
135℃捕集泵TH-135-15P246000172200
135℃捕集泵TH-135-1.5P12600088200


 

-135℃ Water vapor cryopump
应用原理:

    在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
    深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在实际应用当中,根据所放的位置不同可以分为两类(见图):


 

1、水汽捕集器
    它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。  
2、低温冷阱
    放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态,无需除霜装置。
根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装.









 

    本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于领先地位,达到甚至超过国际先进水平。
  
主要的性能特点 
1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%;

2、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,最低可到-150℃; 

3、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温; 
4、一台设备可设计两路负载输出; 
5、进口压缩机,环保混合型制冷剂;
6、完善的自动化控制;
7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温  度显示;
8、当待机温度到达后有指示灯提示,可以开始制冷;
9、除霜温度自由设定; 
10、具有水温温度、排气温度显示; 
11、缺水、水温过高报警;   
12、压缩机排气过高、压力过高保护; 
13、电源断电、缺相报警; 

 

14、可本地、远程控制自由转换; 
15、R232计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。

 

型 号TH-135-3PTH-135-5PTH-135-7PTH-135-10PTH-135-12PTH-135-15P
压缩机功率(KW)2.84.66.38.510.112.3
工作温度(℃)-120℃至-150℃
抽气速度(l/s)306005100073,000101,000153,000250,000
制冷量(W)3005001200180025003500
冷凝管表面积(m2)0.150.30.50.71.02. 0
冷凝管长度8m,φ6mm10m,φ10mm12m,φ12mm14m,φ16mm24m,φ16mm40m,φ16mm
预冷时间(min)≤30≤30≤30≤30≤40≤40
降温时间(min)≤5≤5≤5≤5≤6≤7
除霜时间(min)≤3≤3≤3≤3≤3≤3
再降温时间(min)≤5≤5≤5≤5≤6≤6
适用油扩散泵径(mm)≤300≤500≤800≤1000双路输出双路输出
冷却方式风冷、水冷(t≤30℃)水冷(t≤30℃)水冷(t≤30℃)水冷(t≤30℃)水冷(t≤30℃)
适用腔体直径(mm)≤900≤1300≤1500≤1700≤2000




 

冷凝盘管的制作
根据设备的实际情况,我们可以为您制作不同形状的冷凝盘管。

 



 

输入、输出的接口
冷凝盘管从真空腔内穿过腔壁时,由于管道温度与腔壁温差较大,如果直接焊接,冷量将会有较大损失,腔壁结霜严重。这就需要一个长约20厘米的薄壁不锈钢管做成的绝热装置来解决,它可以做成活口(见图),也可以不用密封垫,直接焊接到真空腔壁。

 


 

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