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F260流量范围 (等效于N2): | from 20 sccm to 5 slm |
控制范围: | between 2 and 100% F.S. |
阀门类型: | Thermal |
阀门初始位置: | 常开 Normally Open only |
精度: | +/- 1% of F.S. |
线性: | +/- 0.5% of F.S |
重复精度: | +/- 0.3% of F.S. |
相应时间: | <= 6 sec. typical (SEMI E17-91) |
适用温度范围: | between 5 and 40°C |
温度补偿系数: | < 0.1% F.S. /°C |
最大内部压力: | 10 bar |
最小压差: | 0.5 bar (0.7 bar with H2) |
最大压差: | 3 bar |
压力补偿系数: | < 0.1% F.S./bar |
材质: | 316 L Stainless steel |
泄漏率: | < 2.10-9 scc/sec (He) |
密封: | standard Viton, option Neoprene or kalrez |
配件接口: | ¼ VCR – ¼ VCO – ¼ Swagelok |
CS200(A)数字式气体质量流量控制器
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