Lumina-200 多功能高精度光刻机
Lumina-200高分辨率光刻机加对准系统经过了大量的实时实地验证，质量可靠，性能优越稳定。Lumina系列是一款具有高性能，高可靠性，高性价比，兼具接触和近程光刻的高分辨率，高对准精度全功能光刻机和模板基板对准机。Lumina系列在电子，光电子，MEMS，生物芯片等诸多领域都有广泛应用。Lumina-200具有极佳的用户界面，高精度的机械平台，高精度光学，紧凑的系统设计。
主要特点：
高光刻分辨率；高精度对准机械平台；最新高精度对准光学系统；精确的间距控制
极佳的计算机用户界面；紧凑的系统设计；高性价比设计；可附加背面对准功能
应用：
半导体器件；光电子器件；MEMS；高端封装；功率器件
生物芯片
基于超过12年、15代产品开发经验的自动化操作
Nanonex经过大量实时实地验证，质量可靠，性能优越稳定
系统参数：
主平台
手动控制 X-Y-ϴ；马达控制 Z；
调节范围：X和Y：1英寸；ϴ：10度；Z：0.25英寸
模板加载能力
5”标配模板；其他尺寸可提供
基板加载能力
4”标配基板；其他尺寸可提供
对准模式
近程，软，硬接触
对准光学
分场光学；5X物镜，1到7X ZOOM；2轴独立手动X,Y,Z显微镜调节
粗略和精细对焦；通过CCD相机成像
曝光系统
紫外：水银灯G或I线可选；紫外灯功率：500瓦
均匀紫外曝光； 马达带动紫外光源
