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Sabio 2010D型气体稀释校准仪
标准配置
气动部分
稀释气质量流量控制器,0~10 SLM
源气质量流量控制器,0~100 SCCM
2个校准气输入接口和一个清洗接口
4个输出接口和一个出风口
1个稀释气输入接口
电子器件
高亮度彩色显示屏(显示为黑白EL屏)
42键触摸键盘
8位数字I/O接口
2个串行数据通讯接口
外部PC键盘输入接口
并行打印机接口
气源控制接口
电动部分
98~264 VAC,150~300 VA,50/60 Hz运行
Sabio 2010D型气体稀释校准仪
可选配置
稀释气质量流量控制器,范围0~20 SLM
源气质量流量控制器,范围0~1 SLM
第二个源气质量流量控制器,范围0~1 SLM
额外的校准气接入口
渗透口
内置臭氧发生器
臭氧发生器UV随动控制回路
侧装便携带
耐抗击的运输箱
以太网TCP/IP容量
Sabio 2010D型气体稀释校准仪
产品规格
稀释系统
稀释气进口:1个标准接口
源气进口:2个标准接口,1个清洗接口
额外进口:2个额外接口
稀释气质量流量控制器:0~10 SLPM;可选范围0~20 SLPM
源气质量流量控制器:0~100 SCCM;可选范围0~1 SLPM
第二个源气质量流量控制器:0~1 SLPM
流量准确度:≤±1%满量程
流量重现性:≤±0.15%满量程
线性:≤±0.5%满量程
输入压力:20~35 psig
输出接口:4个标准输出口
可选的内置臭氧发生器
输出:0.05~1.5 ppm@5 SLPM
准确度:±2%或者±3 ppb@5 SLPM
流量:100 SCCM,±1 SCCM
UV灯温度:50 ℃,±0.1 ℃
校准界面
运行:通过42键触摸键盘手动控制
校准设置:20个出厂设定的校准序列,每个序列最多20个校准点
校准类型:气体稀释,臭氧,GPT
气体设定:1个稀释气,20个源气
自动校准:根据用户设定的7天内的校准事件,提供20个定时驱动的校准路径
数字I/O:8位I/O控制校准功能
接口:RS232
校准系统
运行温度:5~40 ℃
规格尺寸:6.2"(15.6 cm)H×14.3"(36.4 cm)W×12.4"(31.6 cm)D
重量:19 lbs.(8.6 kg)
输入电压:98~264 VAC,100 VA,50/60 Hz
最多添加5台