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| 参数/型号 | 4140/41403 | 4143/41433 | 4040 | 4043 | 4045 | |
| 入口/出口直径 | 6.4mm | 9.525mm |
22mm ISO渐缩 |
12.7mm | 19.1mm | |
| 气体校准 |
空气、O2、N2 (41403还包括N2O) |
空气、O2、N2 （41433还包括N2O） |
空气、O2、N2、空气和O2的混合体 | |||
| LCD显示单位 | L/min，Std/min,cm³/min，Std cm³/min | L/min，Std/min | ||||
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流量 测量 |
范围 | 0.01—20Std L/min |
0—300Std L/min |
0—200Std L/min |
0—300Std L/min |
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误差 |
空气和O2：读数的±2%或0.005 Std L/min，较大值 N2O，N2：读数的±3%或0.010 Std/min较大值 |
空气和O2：读数的±2%或0.05 Std L/min,较大值 空气和O2的混合体，N2：读数的±3%或0.1Std L/min，较大值 |
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| 响应时间 | 4ms（满量程的63%） | 4ms（满量程63%） | ||||
| 外形尺寸 | 127mm×49mm×32mm | 182mm×63mm×53mm | ||||
流量计各种选型参考。 附件为TSI公司质量流量计产品的中文样本，包括低成本OEM嵌入式质量流量传感器、OEM气体质量流量计、实验室和通用质量流量计。
