德国BMT SMS专家级测量系统（共聚焦原理）

德国BMT SMS专家级测量系统（共聚焦原理）
    SMS专家级测量系统（共聚焦原理）依据不同的需求配置不同的传感器：光谱传感器、三角测量传感器、白光干涉系统、共焦传感器、自聚焦传感器、触针式传感器。

主要用途.

◆  任何粗糙、光滑表面检查和测量（可选用不同的传感器）
◆  用于金属片、纸、玻璃塑胶、晶片、刀具等行业
◆  其他表面的微观形貌测量
◆  微型机械元件的尺寸测量
◆  金相测量
◆  微小或较大区域内直线度、平面度、台阶高度、粗糙度的测量计算

主要特点

● 非接触测量表面形貌，2D/3D，垂直和横向尺寸测量；

● 粗糙和光滑表面测量；

● 粗糙度参数测量，FFT，ACF，平面斜面及台阶高度测量；

● 金属片，玻璃，塑料，晶片及其他物体的微观形貌；

● 表面反射率对测量结果无影响。

技术参数

共聚焦显微镜头

● 垂直测量范围 （mm）             1

● 垂直分辨率     （nm）              30

● 横向分辨率     （μm）              3

● 工作距离，约 （mm)                24

● 光斑尺寸，约 （μm)                 6

● 测试频率       （kHz）              1～10

移动平台

● X、Y、Z轴   （mm）               50

● 步长              （μm）                0.5