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MACH和MACH-V能进行接入生产线、与CNC机械加工密切配合的高速测量。这两种高通量测量仪可以完全并入生产线，向机械加工机提供加工前、加工后的加工反馈，以便对加工进行及时调整。
| 型号 | MACH 403 | MACH 806 | MACH-V565 | MACH-V9106 |
| 测量范围 |
X轴 460mm Y轴 460mm Z轴 300mm |
X轴 1021mm |
X轴505mm Y轴605mm Z轴505mm |
X轴905mm Y轴1005mm Z轴605mm |
| 分辨率 | 0.1um | 0.1um | 0.1um | 0.1um |
| 精度 |
MPEE 3.5+4L/1000)um,(3.5+4L/1000)um** MPEP 4um |
MPEE 3.5+4L/1000)um,(3.5+4L/1000)um** MPEP 4um |
MPEE 2.5+3.5L/1000)um/(2.9+4.3L/1000)um/(3.6+5.8L/1000)um** MPEP2.5um(2.2um:using SP25M) |
MPEE 2.5+3.5L/1000)um/(2.9+4.3L/1000)um/(3.6+5.8L/1000)um** MPEP2.5um(2.2um:using SP25M) |
