仪器种类: 管式炉
最高温度: 1200°C
控温精度: +/- 1°C
最大功率: 12KW
升温速度(达到最高温): 60oC/min (在 200 mtorr下), 117oC/min (在一个大气压下)
加热方式: 仪表控温
内部尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15
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OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4" 石英管和真空法兰, 它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热最快升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
技术参数
炉体结构 |
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加热元件 | 8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm)(点击图片查看详情) | |
加热区 | 12" length with 4"X12”恒温区( +/-5oC ) | |
石英管和样品架 |
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真空法兰 |
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水冷 | 如果要求通冷却水.
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流量计 | 范围: 16 - 160 ml/min | |
真空表 |
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真空度 |
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温度控制 | PID 自动控制, 可控硅 SCR | |
热偶 | 进口K 型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下。 | |
温控仪 |
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最快升温速度 | 室温~800℃: 50 oC/sec ,800℃~1000℃: 10oC/sec | |
最新升温曲线 | 直接升温到1000℃;分阶段升温数据 请点击查看 | |
最快降温速度 | 60oC/min (在 200 mtorr下), 117oC/min (在一个大气压下) 选择: 为得到较快的降温速度 < 10°C/秒, 你可以选择带滑轨的 RTP 炉,如下图:![]() | |
温度 | 最高1100oC ,额定1000°C | |
电源 | 208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 最大功率12KW (> 60A 保险) | |
注意 | 此炉可以增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE(快速热蒸发)炉(可查看下方的图片自己制备RTE) | |
尺寸 | 760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H) | |
重量 | 45 kg (100 lbs) | |
保修期 | 电器部分一年质保期 (耗材:如炉管,“O”型圈和加热灯管等不在保修范围内) | |
认证 |
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国家专利 | 专利名称:一种快速高温退火炉 专利编号:ZL-2011-2-0077168.4 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究 | |
使用注意事项: |
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